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至纯科技:下半年订单飙升,湿法设备市场领跑
发布日期:2024-01-13 07:25     点击次数:62

1月11日至纯科技发布公告称,公司今年新签订单额达132.93亿元,同比增长92.48%,连续五年-十五年长期订单金额高达86.61亿元。根据公司之前的数据显示,2023年年中以来新订单额急剧增加,同比增长超38%。截至2023年6月底,公司在手订单额53.23亿元,其中超过七成来自半导体领域,其余来自泛半导体和生物医药业。

至纯科技旗下的至微科技是国内湿法设备市场主流供应商之一,在28纳米节点实现了全覆盖,全工艺机台亦均有订单。在更为尖端的制程中, 亿配芯城 至微科技已有部分工艺获得订单。作为湿法设备中技术最为复杂的设备,至微科技的S300 SPM机台现已交付给众多国内龙头晶圆厂,并成功应用于12英寸逻辑量产线,每月产能可达6万片次以上。该设备累计产量已突破20万片次,是中国高阶湿法设备实现进口替代的重大突破。至微科技也是目前为止,国内能达到上述高端湿法设备量产标准的独家企业。

至纯科技在湿法设备应用于成熟制程的产品线扩展稳步进行,在部分逻辑用户和第三代半导体用户的生产线中的渗透率不断攀升。虽然在先进制程中的高阶产品线受制于用户扩产进程稍显滞后,但在高温硫酸、FINETCH及单片磷酸等技术仍被国际厂商掌握的领域,至纯科技的交付和验证水平处于全国领先地位。